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无锡星微科技有限公司（以下简称“星微科技”）成立于2015年，主要面向半导体设备领域提供精密运动控制产品；2017年开始晶圆传输系统产品的设计研发；2019年研发生产晶圆传输系统核心产品晶圆传输机械臂；2020年起，公司的精密运动台及传输系统在半导体量检测类、泛半导体精密制造等设备实现批量出货。
2025-01-14
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